एक गैस स्रोत के रूप में जो सिलिकॉन घटक प्रदान करता है, सिलेन का उपयोग उच्च शुद्धता वाले पॉलीसिलिकॉन, मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन, माइक्रोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन, अनाकार सिलिकॉन, सिलिकॉन नाइट्राइड, सिलिकॉन ऑक्साइड, विषम सिलिकॉन और विभिन्न धातु सिलिकाइड्स के निर्माण के लिए किया जा सकता है।
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