इसका उपयोग हाइड्रोजन फ्लोराइड और फ्लोराइड के उच्च ऊर्जा रासायनिक लेजर के लिए फ्लोरीन स्रोत के रूप में किया जाता है।गैस.यह माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक उत्कृष्ट प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस है।यह वर्ग 2.2 की जहरीली गैस है, और हवा में इसकी अधिकतम स्वीकार्य सामग्री 29mg/m2 है3.
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